微机电系统(mems)可达到一定的集成化要求,引起了人们的广泛关注。如图2所示,目前已逐渐商用的mems激光雷达是采用微振镜结构进行激光束偏转,微振镜需要具有平整的光学镜面,将机械式激光雷达的旋转部件微缩,增加集成度。
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激光雷达具有---的角度、距离和速度分辨率。首先,角分辨能力高。由于工作波长较短,采用小的光学接收孔径就能获得---的分辨率。如在100km处仅用1o0cm的光学接收口径就可分辨相距1m的两个目标。与微波雷达易受自然界广泛存在的电磁波影响的情况不同,自然界中能对激光雷达起干扰作用的信号源不多, 因此激光雷达抗有源干扰的能力很强,适于在日益复杂和激烈的信息环境中工作。
mems振镜用于激光雷达系统,需要具备大孔径以满足激光雷达分辨力等需求。静电驱动7mm直径尺寸的双轴可偏转mems振镜,采用简单易行的飞行时间(time of flight,tof)的测距方法,测量了距离0.5m至80m的目标,视场角30°,汽车固态激光雷达厂家,扫描频率550hz。如图5所示,为进一步提高lidar光学口径,采用2×7的微振镜阵列,汽车固态激光雷达厂家,等效综合口径334mm,填充因子80%,汽车固态激光雷达价格,其中发射端信号是一维扫描的强度调制连续波,接收端是大孔径的振镜组,扫描角度60°,扫描频率250hz。单个微振镜可以做到20mm的直径尺寸,实验验证在两个轴上均可以达到7.2°的光束扫描角度,压电驱动mems的谐振频率在1khz左右,100w的激光能量没有对mems镜面产生破坏。
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