机械式激光雷达存在精密装配困难、系统庞大等缺点，目前价格仍然居高不下。为了突破这一缺陷，研究者们提出了诸多的解决方案。20世纪90年始出现flash 3d成像激光雷达，也出现了通过液晶实现的光学相控阵结构，21世纪初出现了mems类型的激光雷达组件，迄今各种方案竞相追逐，不断发展。mems器件作为机械式向固态lidar过渡的解决方案，具有一定程度的小型化、响应速度较快的特点，且mems功能性结构能够忍受热压，三维防撞固态激光雷达价格，因此可以承受相对较高的激光能量，但是由于mems结构单元尺寸较大，存在机械振动、旋转，受环境因素影响较大。针对全固态激光雷达发展需求，flash激光雷达可对目标一次照射成像，成像终取决于面阵探测器的性能，但是数据庞大，一次成像速度较慢。液晶光学相控阵器件在空间光调制器领域商业化应用成熟，具有全固态、便宜、可大面积制作等特点，但是响应速度较慢、光束可偏转角度较小。数十年来，三维防撞固态激光雷达，集成光波导相控阵芯片作为全固态、小型化lidar有潜力的解决方案得到了广泛的研究，硅基光学相控阵激光雷达具有cmos兼容的特点，价格便宜，但是热光效应的扫描速度仍有待提升，可以采用硅基等离子体色散效应的相位调制器来满足更高速的应用需求。
测器具有远距离单幅成像、易于小型化等优点。apd探测器分线性和盖革两种工作模式：线性模式雪崩光电二极管探测器（linear mode avalanche photodiode，lmapd）和盖革模式雪崩光电二极管探测器（geiger mode avalanche photodiode，gmapd）。lincoln实验室进行了可应用于激光雷达的面阵探测器的一系列研究。工作在可见光波段的32×32的gmapd，并且集成了500 mhz的计时电路，可实现每秒5000～10000次的成像速度，距离分辨率15cm。也---了256×256面阵规模的gmapd，如图11所示，将探测器单片混合集成到cmos读出电路上，实现无源光子计数成像，山西三维防撞固态激光雷达，经过30ms的多帧叠加，三维防撞固态激光雷达多少钱，可以获得3.5km处较清晰的像。raytheon公司---了碲镉（hgcdte）材料lmapd阵列用于3d激光---，面阵规模可达到256×256，并验证了线性模式下单光子计数，从而可提供实时、远距离探测功能。
微机电系统（mems）可达到一定的集成化要求，引起了人们的广泛关注。如图2所示，目前已逐渐商用的mems激光雷达是采用微振镜结构进行激光束偏转，微振镜需要具有平整的光学镜面，将机械式激光雷达的旋转部件微缩，增加集成度。
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