flash激光雷达的距离分辨力和角度分辨力直接受限于探测器性能，为了实现远距离探测，焦平面阵列探测器需要价格昂贵的雪崩光电探测器（apd），面积、更的探测器很难获得。为了解决flash激光雷达分辨力受限的问题，高混合型固态激光雷达，韩国kaist有研究小组提出采用偏振调制普克尔盒（polarizationmodulating pockels cell，pmpc）和面阵微偏振电荷耦合器件（micro-polarizer charge-coupled device，mccd）的方案，由于激光偏振态随着距离产生变化，河北高混合型固态激光雷达，mccd可以探测回波的偏振态，计算得到距离，1024×1024个阵元数的mccd可以弥补大面积的apd阵列的不足，获得较高的角分辨力。实验得到了0.12mrad的角分辨率和16m范围内5.2mm的距离分辨率。
mems振镜用于激光雷达系统，需要具备大孔径以满足激光雷达分辨力等需求。静电驱动7mm直径尺寸的双轴可偏转mems振镜，采用简单易行的飞行时间（time of flight，高混合型固态激光雷达，tof）的测距方法，测量了距离0.5m至80m的目标，视场角30°，扫描频率550hz。如图5所示，为进一步提高lidar光学口径，高混合型固态激光雷达多少钱，采用2×7的微振镜阵列，等效综合口径334mm，填充因子80%，其中发射端信号是一维扫描的强度调制连续波，接收端是大孔径的振镜组，扫描角度60°，扫描频率250hz。单个微振镜可以做到20mm的直径尺寸，实验验证在两个轴上均可以达到7.2°的光束扫描角度，压电驱动mems的谐振频率在1khz左右，100w的激光能量没有对mems镜面产生破坏。
激光雷达的种类很多，但是按照现代的激光雷达的概念，常分为以下几种:
1.按运载平台分：有地基固定式激光雷达、车载激光雷达、机载激光雷达、船载激光雷达、星载激光雷达、弹载激光雷达和手持式激光雷达等。
2.按激光发射波形分：有脉冲激光雷达、连续波激光雷达和混合型激光雷达等。
3.按激光波段分：有紫外激光雷达、可见激光雷达和红外激光雷达。
4.按激光介质分：有气体激光雷达、固体激光雷达、半导体激光雷达和二极管激光泵浦固体激光雷达等。
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