mems振镜用于激光雷达系统,需要具备大孔径以满足激光雷达分辨力等需求。静电驱动7mm直径尺寸的双轴可偏转mems振镜,采用简单易行的飞行时间(time of flight,tof)的测距方法,测量了距离0.5m至80m的目标,视场角30°,扫描频率550hz。如图5所示,为进一步提高lidar光学口径,采用2×7的微振镜阵列,等效综合口径334mm,填充因子80%,其中发射端信号是一维扫描的强度调制连续波,接收端是大孔径的振镜组,扫描角度60°,扫描频率250hz。单个微振镜可以做到20mm的直径尺寸,实验验证在两个轴上均可以达到7.2°的光束扫描角度,压电驱动mems的谐振频率在1khz左右,100w的激光能量没有对mems镜面产生破坏。
flash激光雷达的距离分辨力和角度分辨力直接受限于探测器性能,为了实现远距离探测,焦平面阵列探测器需要价格昂贵的雪崩光电探测器(apd),面积、更的探测器很难获得。为了解决flash激光雷达分辨力受限的问题,韩国kaist有研究小组提出采用偏振调制普克尔盒(polarizationmodulating pockels cell,pmpc)和面阵微偏振电荷耦合器件(micro-polarizer charge-coupled device,mccd)的方案,由于激光偏振态随着距离产生变化,mccd可以探测回波的偏振态,计算得到距离,1024×1024个阵元数的mccd可以弥补大面积的apd阵列的不足,航运检测混合型固态激光雷达价格,获得较高的角分辨力。实验得到了0.12mrad的角分辨率和16m范围内5.2mm的距离分辨率。
通常激光雷达可以分为两大类:机械式激光雷达和固态激光雷达。机械式激光雷达采用机械旋转部件作为光束扫描的实现方式,避障混合型固态激光雷达价格,可以实现大角度扫描,但是装配困难、扫描频率低。固态激光雷达,目前的实现方式有微机电系统(micro-electro-mechanical system,mems)、面阵闪光(flash)技术和光学相控阵(optical phased array,opa)技术。mems采用微扫描振镜,达到了一定的集成度,贵州混合型固态激光雷达价格,但是受限于振镜的偏转范围;flash技术已有商用,但是视场角受限,防撞混合型固态激光雷达价格,扫描速率较低;opa扫描技术是基于微波相控阵扫描理论和技术发展起来的新型光束指向控制技术,具有无惯性器件、稳定、方向可任意控制等优点,成为近年来研究的---,液晶、集成波导光学相控阵等固态技术方法层出不穷。激光雷达在无人驾驶、机器人等---领域也将向着小型化的趋势发展。
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