通常激光雷达可以分为两大类：机械式激光雷达和固态激光雷达。机械式激光雷达采用机械旋转部件作为光束扫描的实现方式，可以实现大角度扫描，但是装配困难、扫描频率低。固态激光雷达，目前的实现方式有微机电系统（micro-electro-mechanical system，mems）、面阵闪光（flash）技术和光学相控阵（optical phased array，opa）技术。mems采用微扫描振镜，达到了一定的集成度，但是受限于振镜的偏转范围；flash技术已有商用，但是视场角受限，扫描速率较低；opa扫描技术是基于微波相控阵扫描理论和技术发展起来的新型光束指向控制技术，具有无惯性器件、稳定、方向可任意控制等优点，高清半固态激光雷达厂家，成为近年来研究的---，液晶、集成波导光学相控阵等固态技术方法层出不穷。激光雷达在无人驾驶、机器人等---领域也将向着小型化的趋势发展。
mems振镜用于激光雷达系统，高清半固态激光雷达，需要具备大孔径以满足激光雷达分辨力等需求。静电驱动7mm直径尺寸的双轴可偏转mems振镜，采用简单易行的飞行时间（time of flight，tof）的测距方法，高清半固态激光雷达，测量了距离0.5m至80m的目标，视场角30°，扫描频率550hz。如图5所示，为进一步提高lidar光学口径，采用2×7的微振镜阵列，等效综合口径334mm，高清半固态激光雷达价格，填充因子80%，其中发射端信号是一维扫描的强度调制连续波，接收端是大孔径的振镜组，扫描角度60°，扫描频率250hz。单个微振镜可以做到20mm的直径尺寸，实验验证在两个轴上均可以达到7.2°的光束扫描角度，压电驱动mems的谐振频率在1khz左右，100w的激光能量没有对mems镜面产生破坏。
激光雷达具有---的角度、距离和速度分辨率。首先，角分辨能力高。由于工作波长较短，采用小的光学接收孔径就能获得---的分辨率。如在100km处仅用1o0cm的光学接收口径就可分辨相距1m的两个目标。与微波雷达易受自然界广泛存在的电磁波影响的情况不同，自然界中能对激光雷达起干扰作用的信号源不多， 因此激光雷达抗有源干扰的能力很强，适于在日益复杂和激烈的信息环境中工作。
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