相控阵技术是mems实现激光雷达功能的另一个解决方案，其基本原理是，台湾固态激光雷达厂家，mems的微小移动产生光程差，多个具有不同相位的出射光束在远场干涉形成光束偏转。韩国byung-wookyoo等人的研究小组对此方案进行研究，如图6所示，在硅基上制备具有8×8高对比光栅的mems结构相控阵，优化的性能表现为10v电压即可产生1.7π的相移，具有0.5mhz的响应速度，采用透镜系统扩大视场，---固态激光雷达厂家，测量得到远场总视场角为9.14°×9.14°。
flash激光雷达的性能主要决定于焦平面探测器阵列，焦平面探测器阵列可以使用pin型光电探测器，在探测器前端加上透镜单元并采用读出电路可以实现短距离探测，系统如图10所示。对于远距离探测需求，目前满足需求的的探测器—雪崩型光电探测器（avalanchephotodetector，apd），其探测的灵敏度高，可实现单光子探测，基于apd的面阵探
一种是opa光学相控阵方案，通过调节发射阵列中的每个发射单元的相对差来改变激光的射出角度，采用相控阵原理来完全取消机械结构。
第二种是flash激光雷达，采用类似相机的工作模式，感光元件中的每个像素点都可以记录光子飞出的时间信息，运行时直接发射出一大片覆盖探测区域的激光，随后由高灵敏度的接收qi阵列计算每个像素对应的距离信息，防撞固态激光雷达厂家，从而完成对周围环境的绘制。
第三种是mems微振镜激光雷达，通过电流控制微镜旋转和侧转来完成激光扫描。但---的是固态激光雷达的技术路径虽然---，国产固态激光雷达厂家，但是目前仍然没有sop量产供货的案例。技术比较成熟的是被看做是下一代激光雷达的mems微振镜方案，但是由于其部件也就是微振镜，它本身是由非常细小的悬臂梁来固定和控制的，所以说非常脆弱，在---性和成本上就被打上了问号。而且也因为这个原因，mems方案也被部分厂商看作是一种混合固态方案。
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