机械式激光雷达存在精密装配困难、系统庞大等缺点，目前价格仍然居高不下。为了突破这一缺陷，研究者们提出了诸多的解决方案。20世纪90年始出现flash 3d成像激光雷达，也出现了通过液晶实现的光学相控阵结构，21世纪初出现了mems类型的激光雷达组件，车流量监控混合型固态激光雷达，迄今各种方案竞相追逐，不断发展。mems器件作为机械式向固态lidar过渡的解决方案，具有一定程度的小型化、响应速度较快的特点，且mems功能性结构能够忍受热压，因此可以承受相对较高的激光能量，但是由于mems结构单元尺寸较大，存在机械振动、旋转，受环境因素影响较大。针对全固态激光雷达发展需求，flash激光雷达可对目标一次照射成像，成像终取决于面阵探测器的性能，但是数据庞大，一次成像速度较慢。液晶光学相控阵器件在空间光调制器领域商业化应用成熟，具有全固态、便宜、可大面积制作等特点，但是响应速度较慢、光束可偏转角度较小。数十年来，集成光波导相控阵芯片作为全固态、小型化lidar有潜力的解决方案得到了广泛的研究，硅基光学相控阵激光雷达具有cmos兼容的特点，价格便宜，但是热光效应的扫描速度仍有待提升，可以采用硅基等离子体色散效应的相位调制器来满足更高速的应用需求。
20世纪90年代，有研究者就提出了非扫描式的激光雷达概念，属于3d成像激光雷达。如图7所示，flash激光雷达采用类似照相机的工作模式，感光元件与普通相机不同，车流量监控混合型固态激光雷达，每个像素点可以记录光子飞行时间信息。发射的面阵激光照射到目标上，目标对入射光产生散射，由于物体具有三维空间属性，从而照射到物体不同部位的光具有不同的飞行时间，被焦平面探测器阵列探测，输出为具有---信息的“三维”图像。如图8 所示，flash激光雷达也经历了小型化发展历程，车流量监控混合型固态激光雷达价格，所占空间从起初的车厢级到办公桌级，再到现在的厘米级，这都得益于紧凑型激光器阵列、探测器阵列的发展。
相控阵技术是mems实现激光雷达功能的另一个解决方案，其基本原理是，mems的微小移动产生光程差，多个具有不同相位的出射光束在远场干涉形成光束偏转。韩国byung-wookyoo等人的研究小组对此方案进行研究，车流量监控混合型固态激光雷达价格，如图6所示，在硅基上制备具有8×8高对比光栅的mems结构相控阵，优化的性能表现为10v电压即可产生1.7π的相移，具有0.5mhz的响应速度，采用透镜系统扩大视场，测量得到远场总视场角为9.14°×9.14°。
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