mems振镜用于激光雷达系统，图像级固态激光雷达多少钱，需要具备大孔径以满足激光雷达分辨力等需求。静电驱动7mm直径尺寸的双轴可偏转mems振镜，采用简单易行的飞行时间（time of flight，tof）的测距方法，测量了距离0.5m至80m的目标，视场角30°，扫描频率550hz。如图5所示，为进一步提高lidar光学口径，采用2×7的微振镜阵列，等效综合口径334mm，填充因子80%，其中发射端信号是一维扫描的强度调制连续波，图像级固态激光雷达，接收端是大孔径的振镜组，扫描角度60°，扫描频率250hz。单个微振镜可以做到20mm的直径尺寸，实验验证在两个轴上均可以达到7.2°的光束扫描角度，压电驱动mems的谐振频率在1khz左右，100w的激光能量没有对mems镜面产生破坏。
测器具有远距离单幅成像、易于小型化等优点。apd探测器分线性和盖革两种工作模式：线性模式雪崩光电二极管探测器（linear mode avalanche photodiode，lmapd）和盖革模式雪崩光电二极管探测器（geiger mode avalanche photodiode，gmapd）。lincoln实验室进行了可应用于激光雷达的面阵探测器的一系列研究。工作在可见光波段的32×32的gmapd，并且集成了500 mhz的计时电路，可实现每秒5000～10000次的成像速度，距离分辨率15cm。也---了256×256面阵规模的gmapd，如图11所示，将探测器单片混合集成到cmos读出电路上，实现无源光子计数成像，经过30ms的多帧叠加，可以获得3.5km处较清晰的像。raytheon公司---了碲镉（hgcdte）材料lmapd阵列用于3d激光---，面阵规模可达到256×256，并验证了线性模式下单光子计数，从而可提供实时、远距离探测功能。
因为mems扫描镜是一种硅基半导体元器件，属于固态电子元件；但是mems扫描镜并不“安分”，内部集成了“可动”的微型镜面；由此可见mems扫描镜---“固态”和“运动”两种属性，故称为“混合固态”。可以说，mems扫描镜是传统机械式lidar的---者，带领lidar小型化和低成本化。其取消了机械式激光雷达的机械旋转结构，利用mems微振镜，将所有的机械部件集成到单个芯片，图像级固态激光雷达价格，利用半导体工艺生产。基于mems的固态雷达，是通过微振镜的方式改变单个发射qi的发射角度进行扫描，由此形成一种面阵的扫描视野。目前基于mems方式的激光雷达，技术上更容易实现，且价格也比较低廉，有很多的厂家在研发，也因此被主机厂商一致---。
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