雷达技术作为人类感知的“眼睛”，具备对于人类视觉范围以外、中远距离的环境感知的能力，在现代和民用领域都扮演着重要的角色。众所周知的毫米波雷达、微波雷达、超声波雷达等传统技术发展历程较长，技术相对成熟，列车防撞混合型固态激光雷达厂家，激光雷达（lidar）相比传统雷达的工作频段，光频段的波长较短，因而可以---提高雷达的距离分辨力、角分辨力、速度分辨力，并且得益于激光的高方向性和高相干性，可以实现远距离抗干扰探测与测距。激光雷达测距和测速具有不同的工作方式，测距一般可以通过飞行时间法和三角法实现，调频连续波的探测方法则可以实现速度、距离的同时测量。通过高灵敏的探测手段，可以获得目标的距离、速度等信息，在制导、测绘、无人驾驶等领域发挥重要的作用。
mems振镜用于激光雷达系统，需要具备大孔径以满足激光雷达分辨力等需求。静电驱动7mm直径尺寸的双轴可偏转mems振镜，采用简单易行的飞行时间（time of flight，河北列车防撞混合型固态激光雷达，tof）的测距方法，测量了距离0.5m至80m的目标，视场角30°，扫描频率550hz。如图5所示，为进一步提高lidar光学口径，采用2×7的微振镜阵列，等效综合口径334mm，填充因子80%，其中发射端信号是一维扫描的强度调制连续波，接收端是大孔径的振镜组，扫描角度60°，扫描频率250hz。单个微振镜可以做到20mm的直径尺寸，实验验证在两个轴上均可以达到7.2°的光束扫描角度，列车防撞混合型固态激光雷达价格，压电驱动mems的谐振频率在1khz左右，100w的激光能量没有对mems镜面产生破坏。
通常激光雷达可以分为两大类：机械式激光雷达和固态激光雷达。机械式激光雷达采用机械旋转部件作为光束扫描的实现方式，可以实现大角度扫描，但是装配困难、扫描频率低。固态激光雷达，目前的实现方式有微机电系统（micro-electro-mechanical system，mems）、面阵闪光（flash）技术和光学相控阵（optical phased array，opa）技术。mems采用微扫描振镜，达到了一定的集成度，但是受限于振镜的偏转范围；flash技术已有商用，但是视场角受限，扫描速率较低；opa扫描技术是基于微波相控阵扫描理论和技术发展起来的新型光束指向控制技术，具有无惯性器件、稳定、方向可任意控制等优点，成为近年来研究的---，液晶、集成波导光学相控阵等固态技术方法层出不穷。激光雷达在无人驾驶、机器人等---领域也将向着小型化的趋势发展。
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